Magnetron dat van de oppervlakte het Kleurrijke Film de Vacuümdeklaagmachine van Pvd voor Mozaïek sputtert
Toepassingen:
De RTSP1213-machine is een partij model sputterend systeem, kan stortingen diverse harde deklagen, zachte deklagen, samenstellingsfilms en stevige smerende films op de metaal en niet-metalen materialensubstraten. Van toepassing geweest op Mozaïek, de industrieën van de voertuigen van Waterstoffuel cell, photonicsproducten, ruimte en andere nieuwe energieindustrieën.
Eigenschappen:
Om het geleidingsvermogen van oppervlakte te verbeteren;
Hoge corrosieweerstand;
Hoge slijtageweerstand;
Hoge hardheid
Hydrophobic samenstellingsfilm en andere functionele films
Beschikbaar voor samenstellingsdeklagen: metaal en niet-metalen films.
De waaier van de filmdikte van 100nm aan 12μm, diktetolerantie ±5%
Sterke adhesie.
De lage aanmakende verhardende behandeling van de delenoppervlakte.
Type:
Verticale richtlijn, veelvlakstructuur, 2 deuren (voorzijde en rug)
Eigenschappen:
Technische Beschrijvingen
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 8.0*10-5-beter Pa;
3. Het pompen neer - tijd: van ATM aan 1.0×10-3 Pa≤15-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Depositobron: evenwichtige/uit zijn evenwicht gebrachte sputterende kathoden
5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel
6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 450℃,
7. Plasma het schoonmaken en het Plasma staan deposito bij: Anode Lineaire Ionenbron
8. Gesloten magnetisch - ingediende Lijn. (Onevenwicht/saldokathoden)
9. Bias Voeding voor gloed het lossen.
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 1200mm
Binnenhoogte: 1300mm
1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304
Deur en flenzen SUS304
De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
1.3 sputterend Schild: SUS304
1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur - 4 reeksen (2 op elke deur)
1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)
1.6 deur: SUS304 materiaal
2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:
De vacuümpomp+roots pomp van de olie roterende vin + Holdingspomp (Leybold)
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem:
Magnetische Opschortings Moleculaire Pomp (Leybold)
4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteemplc+ Touch screen
4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype
4.2 sputterende Voeding + Ionen bronvoeding + Bias Voeding (Geavanceerde Energie)
4.3 het sputterende systeem van de depositocontrole
4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag
4.5 het meten van Systeem
Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat -- Het merk van Europa
Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
MFC: Het Controlemechanisme van de massastroom (4 manieren), digitale weergavemodus-- Het merk van Europa
4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting
4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator
5. Depositosysteem
5.1 depositobron: Sputterende kathoden, Ionenbron -- Het merk van Europa
5.2 depositomateriaal: Koolstofdoel
6. Subsysteem
6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole
6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep
7.Working milieu
Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2
Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,
Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 40KW
Installatiegebied: (L*W*H) 3000*4000*3200mm
Uitlaat: Opening voor mechanische pompen
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.