Magnetron het Sputteren Bronspecificaties
Zeer belangrijke Eigenschappen
1. Het eindige ontwerp van het elementenmagnetische veld
2. Magneet van koelwater wordt geïsoleerd dat
3. Compatibel systeem met de Bevoegdheden van DC/MF en rf-
4. Hoog doelgebruik
5. Regelbare het uitwerpen richting
6. Hoge machtsdichtheid en uitstekende uniformiteit
7. Evenwichtige en uit zijn evenwicht gebrachte wijzekeus
| Maximum het Sputteren Macht | |
| Indirect Gekoeld doel | > 20 watts/cm2 (gelijkstroom) |
| > 7 watts/cm2 (rf) | |
| Lossingsvoltage | 100 tot 1500 volts |
| Lossingsstroom | > 0,05 ampèren/cm2 |
| Werkende Druk | pa 0,05 tot 5 |
| Doelgebruik | > 35% |
| Doel | |
| Vorm | Rechthoekige Vlak |
| Dikte | 6mm~16mm |
| Breedte | 125mm |
| Installatie | Intern/extern |
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen
