Magnetron het Sputteren wordt wijd gebruikt om vuurvaste metalen zoals tantalium, titanium, wolfram, niobium te deponeren, die zeer hoge temperaturen van deposito, en edele metalen zou vereisen: Gouden en Zilveren en wat ook voor deposito van lagere smeltpuntenmetalen zoals koper, aluminium, nikkel, chroom enz. wordt gebruikt.
Het tantalium is het meest gebruikt in de elektronische industrie als beschermende deklaag wegens zijn goede weerstand tegen erosie.
De toepassingen van Gesputterd Tantalium filmen dun:
1. De micro-elektronicaindustrie als films kan reactief worden gesputterd en zo weerstandsvermogen en temperatuur kan de coëfficiënt van weerstand worden gecontroleerd;
Technische Voordelen
Systeem van het het Tantalium sputterende deposito van de koninklijke Technologie het gestandaardiseerde:
Hoofdconfiguraties | |
MODEL | RTAS1000 |
TECHNOLOGIE |
Het gepulseerde gelijkstroom-magnetron sputteren Kathodisch die boogplateren (voor optie, door proces wordt bepaald met een laag te bedekken) |
KAMERmateriaal | Roestvrij staal (S304) |
KAMERgrootte | Φ1000*1000mm (h) |
KAMERtype | D vorm, cilindrische kamer |
OMWENTELINGSrek & KALIBERsysteem | Het satelliet drijven of centraal drijfsysteem |
VOEDINGEN |
De Sputterende Voeding van gelijkstroom: 2~4 reeksen Ion Source: 1 reeks |
DEPOSITOmateriaal | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu enz. |
DEPOSITObron | Vlak Sputterende Kathoden + cirkelboogkathoden |
CONTROLE | PLC (Programmeerbaar Logicacontrolemechanisme) + IPC (semi-auto de verrichtingsmodellen van manual+ auto+) |
POMPsysteem | Roterende Vane Pump: SV300B – 1 reeks (Leybold) |
Wortelspomp: WAU1001 – 1 reeks (Leybold) | |
Holdingspomp: D60C – 1 reeks (Leybold) | |
Magnetische Opschortings Moleculaire Pomp: MAG2200 – sest 2 (Leybold) |
|
DE STROOMcontrolemechanisme VAN DE GASmassa | 2 kanalen: AR en N2 |
VACUÜMmaat | Inficon of Leybold |
VEILIGHEIDSsysteem | Talrijke veiligheidskoppelingen om exploitanten te beschermen en equipmen |
Het VERWARMEN | Verwarmers: 20KW. Max. temperaturen.: 450℃ |
Het KOELEN | Industriële Harder (Koud Water) |
MACHTSmax. | 100KW (ong.) |
GEMIDDELDE MACHTSconsumptie | 45 kW (ong.) |
BRUTOGEWICHT | T (ong.) |
VOETdruk | (L*W*H) MM. VAN 4000*4000 *3600 |
ELEKTROmacht |
AC 380V/3 lijn phases/50HZ/5 |
Insite:
Gebouwde Tijd: 2018
Plaats: China
Tevreden om ons voor meer toepassingen en specificaties te contacteren.