Ceramische LEIDENE Spaanders die Deklaaginstallatie/Ag, Cu-Deposito op Al2O3, AlN-Kringsraad sputteren
Prestaties
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan beter 5.0×10-6 Torr.
2. Werkende Vacuümdruk: 1.0×10-4 torr.
3. Pumpingdowntijd: van 1 ATM aan 1.0×10-4 Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Metalizingsmateriaal dat (+ Boogverdamping sputtert): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr enz.
5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel
Structuur
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
2. Rouhgings Vacuüm Pompend Systeem (Steunend Pomppakket)
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem (magnetisch Opschortings Moleculaire Pomp)
4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteem
5. Het Systeem van de Auxiliarryfaciliteit (Subsysteem)
6. Depositosysteem
De Machine Zeer belangrijke Eigenschappen van de koper Sputterende Deklaag
1. Uitgerust met 8 kathoden van de jonge osboog en de Sputterende Kathoden van gelijkstroom, MF Sputterende Kathoden, Ionen broneenheid.
2. Multilayer en beschikbare mede-depositodeklaag
3. Ionenbron voor plasma het schoonmaken voorbehandeling en Ionenstraal bijgestaan deposito om de filmadhesie te verbeteren.
4. Ceramische Al2O3/AlN-substraten die omhoog eenheid verwarmen;
5. Van de substraatomwenteling en revolutie systeem, voor 1 zijdeklaag en 2 kanten het met een laag bedekken.
Sputterende de Deklaaginstallatie van het kuipermagnetron op Ceramisch Uitstralend Substraat
Het DPC Koper van het proces Directe Plateren is een geavanceerde die het met een laag bedekken technologie met leiden/halfgeleider/de elektronische industrieën wordt toegepast. Één typische toepassing is Ceramisch Uitstralend Substraat.
Deposito van de kuiper het geleidende film op Al2O3, AlN-substraten door PVD vacuümdie het sputteren technologie, met traditionele productiemethodes wordt vergeleken: DBC LTCC HTCC, veel lagere productiekost is zijn hoge eigenschap.
Het koninklijke technologieteam assited onze klant aan ontwikkelde met succes het DPC proces met PVD-het sputteren technologie.
De machine rtac1215-SP uitsluitend voor deklaag van de Koper de geleidende film op Ceramische spaanders wordt ontworpen, ceramische kringsraad die.
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.
