De aanleidinggevende Machine van de Verdampingsdeklaag
Samenvatting:
Inductie het verwarmen wordt wijd gebruikt op verschillende gebieden toe te schrijven aan hoge procesproductiviteit en universaliteit, netheid en mogelijkheid van volledige automatisering. Als één methode van thermische de verdampingstechnologie van PVD, is het proces vriendschappelijk voor milieu. Aangezien de inductie toestaat bereikend temperatuur van 2000℃ en meer, is deze methode zeer geschikt voor industriële productie en wetenschappelijke onderzoek.
De RTEP0404-de Deklaagmachine wordt van de Inductieverdamping ontworpen want C60-het verdampen het deposito van materialen varieert. C60 levert de vervaardiging R&D en testende resultaten voor prospectief op. Een sterk hulpmiddel dat hen bijstaat om de nieuwe toegepaste industrieën uit te breiden.
De eerste reeks wordt veroorzaakt voor de Universiteit van Shanghai. Het industriële productiemodel is onder verwerking.
Hoofdtoepassingen:
Om dunne filmlagen en deklagen te deponeren
Type:
Verticale richtlijn, Stolp het Model, Hoogste Openen
Ontwerpeigenschappen:
Technische Beschrijvingen:
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 9.0*10-5-beter Pa;
Basis Vacuümdruk: 3.0*10-4 pa
3. Het pompen neer - tijd: van 1 ATM aan 2.0×10-3 Pa≤25-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Depositobron: inductieevaporator, smeltkroes
5. Werkend Model: Manueel
6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 1000℃,
7. Verdampingsmacht: De radiofrequentie en de voeding van rf
8. Werkend Gas: AR
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 400mm
Binnenhoogte: 400mm
1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304
De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
1.3 verdampingsschild: SUS304
1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur
1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)
2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:
Pomp in twee stadia van de Olie de Roterende Vin
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem: Turbo Moleculaire Pomp
4. De elektrocontrole en Verrichtingseenheid van de Systeemhmi verrichting
4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype
4.2 verdampingsmacht
4.3 het Systeem van de verdampingscontrole
4.4 verrichtingssysteem: PLC
4.5 het meten van Systeem
Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat
4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting
4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator
5. Depositosysteem
5.1 depositobron: inductie thermische evaporator
5.2 depositomateriaal: C60
6. Subsysteem
6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole
6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep
6.3 werkend gas: AR (>99.99%)
7. Werkomgeving
Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2
Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,
Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 3kVA
Installatiegebied: (L*W*H) 2000*200*2000mm
Uitlaat: Opening voor mechanische pompen
Automatisch trekkend omhoog-onderaan opene/Dichte Eenheid de kamer
Elektrobijlagesysteem:
Veiligheidsuiteinden:
Shiledingsbescherming tegen rf-straling
Wij zijn gepoogd om het meest geschikte deklaagsysteem te ontwerpen en te ontwikkelen die aan onze de efficiency van de klanten hoge productie en van de deklaagkwaliteit verzoeken voldoen.
Indien het aangepast met een laag bedekken van systeem door uw bedrijf wordt vereist, deel gelieve uw gedachten, ideeën met ons team en uw productenspecificaties voor te leggen, zullen wij samenwerken om de beste oplossingen te regelen.
