De Machine van het het Koperpvd Plateren van het aluminiumoxyde, het Verkoperen van PVD Op Ceramische Bladen, het Systeem van het Koperdeposito

                     Het Verkoperenmachine van het aluminiumoxyde, Het Verkoperen van PVD Op Ceramische Bladen,  

Sleutelwoorden: Direct Geplateerd Koper, DPC, Ceramisch Verkoperen, de Harde Deklagen van PVD, PECVD-proces, DLC-film, Diamant zoals Koolstoffilm, Sputterende Optische film, Gencoa-Magnetron Sputterende Kathode, Ionenbron, PA PVD

Rtac950-SP Ontwerpeigenschappen:

• Flexibiliteit: vorm en sputter bronnen een boog, zijn de lineaire ionen bronapparaten die flenzen opzetten gestandaardiseerd voor flexibele uitwisseling
• Veelzijdigheid: beschikbaar voor stortingsverscheidenheid van onedele metalen en legeringen, optische deklagen en harde deklagen, zachte deklagen. Samenstellingsfilms en stevige smerende films op de metaal en niet-metalen materialensubstraten
• Ongecompliceerd ontwerp: 2 deurstructuur, voorzijde en rug die voor gemakkelijk onderhoud openen

Technische Beschrijvingen

• Prestaties

1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 8.0*10-4-beter Pa;

• Basis Vacuümdruk: 3.0*10-2 pa

3. Het pompen neer - tijd: van ATM aan 1.0×10-3 Pa≤15-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)

4. Depositobron: Stuurden de sputterende kathoden van het Gencoamagnetron, boogkathoden, Ionenbron

5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel

6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 500℃,

9. Ionenbron voor het proces van PECVD en van de PA PVD.

• Structuur

De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:

1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiepte 950mm

Binnenhoogte: 1350mm

1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304

Deur en flenzen SUS304

De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

1.3 kamerschild: SUS304

1.4 Weergevenvenster: op kamerdeuren -2

1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)

1.6 deur: 2 reeksen, voorzijde en rug, SUS304-materiaal

2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:
Vacuümpomp van de olie de roterende vin + Holdingspomp

3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem:

Turbo Moleculaire Pomp - 2 reeksen

4. Het elektrocontrole en Verrichtingssysteem van ScreenOperation van de Systeemplc+ Aanraking:

Leveranciers:

PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 REEKS

Elektronische Componenten: SCHNEIDER, OMRON.

Veiligheid die Systeem beschermen: Talrijke veiligheidskoppelingen om exploitanten en materiaal (water, huidig gas, temperatuur enz.) te beschermen

De deklaag verwerkt Systeem: Procesautomatisering & Controle. Automatisch bespaard op geheugen 3 maanden. Voorgekomen met een laag bedekkend receptengegevens: de stroom van de doelverrichting/het voltage, Massastroom die, Vacuümdruk, temperatuur, wordt tijden met een laag bedekken bewaard voor een analyse om de deklagenkwaliteit te verbeteren.

4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype

4.2 voeding: MF het sputteren macht + gelijkstroom-Boogmacht + Bias Voeding

4.3 het systeem van de depositocontrole

4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag

4.5 het meten van Systeem

Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat -- Het merk van Europa

Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
MFC: Het Controlemechanisme van de massastroom (4 manieren),

4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting

4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator

5. Depositosysteem

5.1 depositobron: Het sputteren cathodes+ Boogbronnen + Ionenbron

5.2 depositomateriaal: ITO, Titanium, Chrome, Aluminium, Roestvrij staal, TiAl enz.

6. Subsysteem

6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole

6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep

7. Werkomgeving

Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2

Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,

Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 60KW

Installatiegebied: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

Uitlaat: Opening voor mechanische pompen

Toepassingen

Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.