De Vacuümdeklaagmachine van PVD/Machine van de Magnetron de Sputterende Deklaag, de metallurgische machine van de pvddeklaag
Deze machine is geschikt aan het systeem van de industriële productie vacuümdeklaag. Het rust een grote ionen de verdampingsbron uit van de grootte duidelijke boog en kan deposite film van het hoge prestaties de harde metaal door de technologie van de boogverdamping, zoals Tin, TiCN, AlTiN en allerlei andere speciale film volgens de eisen van de klant.
DLC-de deklaag (diamantachtige koolstof) is de combinatie van diamant (SP3) en grafiet (SP2). De fysieke en chemische eigenschappen van DLC zijn midden aan dat van diamant en grafiet
Specificaties
MODEL | RTAS1000 | |||||||
TECHNOLOGIE | boogplateren + magnetron die + ionenbron sputteren | |||||||
KAMERmateriaal | Roestvrij staal (S304) | |||||||
KAMERgrootte | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
KAMERtype | Regelmatige octaëderkamer, 2 deuren | |||||||
OMWENTELINGSrek & KALIBERsysteem | 6 (8) satelliet, Max. gewicht: 400kgs | |||||||
VOEDINGEN | Qty. van het Sputteren: 2*24 kW Bias Voeding: 1*24W de voeding van VE voor optie Ionen Bronvoeding 2 reeksen, de voeding van VE voor optie | |||||||
DEPOSITOmateriaal | Ti, Zr, TiAl, Cu, Au | |||||||
DEPOSITObron |
2 paren (4 stukken) Sputterende Kathoden + 6 bogen die Gebied met een laag bedekken: Dia800mm*H550mm; |
|||||||
CONTROLE | PLC (Programmeerbaar Logicacontrolemechanisme) + Touch screen (semi-auto de verrichtingsmodellen van manual+ auto+) | |||||||
POMPsysteem | Roterende Vinpomp: SV300B - 1 reeks (Leybold) | |||||||
Wortelspomp: WAU1001 - 1 reeks (Leybold) | ||||||||
Holdingspomp: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
De Opschortings Moleculaire Pomp van de Magnetricrotor: MAG2200 - 2 reeksen (Leybold) | ||||||||
DE STROOMcontrolemechanisme VAN DE GASmassa | 3 kanalen, die in Amerika worden gemaakt (MKS-merk) | |||||||
VACUÜMmaat | Model: Zdf-x-le, dat in China wordt gemaakt | |||||||
Lineaire Ionenbron | 2 stukken die, plasma die + bijgestaan deposito schoonmaken vooraf behandelen | |||||||
VEILIGHEIDSsysteem | Talrijke veiligheidskoppelingen om exploitanten en materiaal te beschermen | |||||||
Het VERWARMEN | Verwarmers: 20KW. Max. temperaturen.: 400℃ | |||||||
Het KOELEN | Industriële Harder (Koud Water) | |||||||
MACHTSmax. | 100KW (ong.) | |||||||
GEMIDDELDE MACHTSconsumptie | 45 kW (ong.) | |||||||
BRUTOGEWICHT | T (ong.) | |||||||
VOETdruk | (L*W*H) MM. VAN 4000*4000 *4000 | |||||||
MACHT ELEKTRO | AC 380V/3 phases/50HZ |