DC pure metalen magnetron sputteren depositie machine, Koper/Zilver/goud/grafiet ultra dunne filme depostion machine
Prestatie
1. Ultieme vacuümdruk: beter dan 5,0 × 10-6Torr.
2. Bedrijfsvacuümdruk: 1.0×10-4Torr.
3. Afpomptijd: van 1 atm tot 1.0×10-4Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Metaliserend materiaal (sputteren + boogverdamping): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr enz.
5. Bedrijfsmodel: volledig automatisch / semi-automatisch / handmatig;
Structuur
De vacuümcoatingmachine bevat het belangrijkste voltooide systeem dat hieronder wordt vermeld:
1. Vacuümkamer
2. Rouhging Vacuümpompsysteem (Backing Pump Package)
3. Hoogvacuümpompsysteem (moleculaire pomp met magnetische ophanging)
4. Elektrisch controle- en besturingssysteem
5. Hulpvoorzieningssysteem (subsysteem)
6. Afzettingssysteem
Koperen sputterende coatingmachine Belangrijkste kenmerken:
1. Uitgerust met 8 gestuurde boogkathoden en DC-sputterkathodes, MF-sputterkathodes, ionenbroneenheid.
2. Meerlagige en co-depositie coating beschikbaar
3. Ionenbron voor voorbehandeling van plasmareiniging en ionenbundel-geassisteerde depositie om de filmadhesie te verbeteren.
4. Verwarmingseenheid voor keramische/Al2O3/AlN-substraten;
5. Substraatrotatie- en omwentelingssysteem, voor 1-zijdige coating en 2-zijdige coating.
Cooper Magnetron sputtercoatinginstallatie op keramisch uitstralend substraat
Het DPC-proces - Direct Plating Copper is een geavanceerde coatingtechnologie die wordt toegepast bij LED- / halfgeleider- / elektronische industrieën.Een typische toepassing is keramisch stralingssubstraat.
Cooper geleidende filmafzetting op Al2O3, AlN-substraten door PVD-vacuümsputtertechnologie, vergeleken met traditionele productiemethoden: DBC LTCC HTCC, veel lagere productiekosten zijn het hoge kenmerk.
Het koninklijke technologieteam hielp onze klant om het DPC-proces met succes te ontwikkelen met PVD-sputtertechnologie.
De RTAC1215-SP-machine is exclusief ontworpen voor geleidende filmcoating van koper op keramische chips, keramische printplaat.
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u totale coatingoplossingen te bieden.