Maatwerk om aan uw speciale vraag te voldoen
Standaardisatie om uw productiekosten te verlagen
-- We richten ons meer op toepassingen
2-MultiTech- DLC IPG zwarte filmcoatings.pdfdownload hier de brochure voor meer informatie
Wat is MF sputteren?
Vergeleken met DC- en RF-sputteren, is mid-Frequency-sputteren een belangrijke dunne-film-sputtertechniek geworden voor massaproductie van coatings, met name voor de filmafzetting van diëlektrische en niet-geleidende filmcoatings op oppervlakken zoals optische coatings, zonnepanelen, meerdere lagen , composiet materiaal film etc.
Het vervangt RF-sputteren omdat het werkt met kHz in plaats van MHz voor een veel snellere afzettingssnelheid en ook de doelvergiftiging kan voorkomen tijdens samengestelde dunne-filmafzetting zoals DC.
MF-sputterdoelen bestonden altijd met twee sets.Er worden twee kathoden gebruikt met een wisselstroom die heen en weer wordt geschakeld, die het doeloppervlak bij elke omkering reinigt om de ladingsopbouw op diëlektrica te verminderen, wat leidt tot boogvorming die druppeltjes in het plasma kan spuwen en een uniforme dunne filmgroei voorkomt --- dat is wat we doelvergiftiging noemden.
Afzettingsbronnen
Gestuurde cirkelvormige boogbronnen voor verdamping van vast metalen doel;
2/4/6 paar MF cilinder sputterkathodes voor afzetting van dunne grafietlagen;
Bias-voeding voor ionenbombardement om het plasmagebied voor voorbehandeling te vormen;
Anode Lineaire Ionenbroneenheid (voor optionele) PACVD- en PECVD-verwerking;
Cryopomp (Polycold) voor watermoleculaire condensatie (voor optioneel)
Andere modules
1. Vacuümkamer
2. Rouhging Vacuümpompsysteem (Backing Pump Package)
3. Hoogvacuümpompsysteem (moleculaire pomp met magnetische ophanging)
4. Elektrisch controle- en besturingssysteem
5. Hulpvoorzieningssysteem (subsysteem)
6. Afzettingssysteem: MF-sputterkathode, MF-voeding, Bias-voeding Ionenbron voor optioneel
Prestaties van coatingmachines
1. Ultieme vacuümdruk: beter dan 5,0 × 10-6Torr.
2. Bedrijfsvacuümdruk: 1.0×10-4Torr.
3. Afpomptijd: van 1 atm tot 1.0×10-4Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Metaliserend materiaal (sputteren + boogverdamping): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, TiN, TiC, TiAlN, CrN, CrC, enz.
5. Bedrijfsmodel: volledig automatisch / semi-automatisch / handmatig;
| Beschrijving | RT1000-DLC |
RT1000-IPG |
RT1250-ZWART |
RT1612-ZWART |
| Technische voordelen: |
Plug-in Geïntegreerd systeem voor snelle installatie |
Hoger volume |
||
| Belangrijkste toepassingen |
Zwarte DLC-coatings op medische instrumenten, sieraden, horloge-onderdelen. |
Middelgrote en grotere werkstukken: RVS bestek, deurklinken, badkameraccessoires, auto-onderdelen, sport, huishoudelijke apparaten, keukengerei en spectrale frames etc. | ||
| Afzettingskamer |
φ1000 * H1000mm |
φ1250 * H1250mm |
φ1600 * H1250mm |
|
|
Belastingsdiameter: |
6*φ250mm |
8*φ270mm 10*φ230mm |
10*φ300mm 16*φ200mm |
|
| Laadhoogte: (Effectief) |
650 mm | 900 mm | 900 mm | |
| Afzettingskathodes | 5 boog + 4 paar MF cilinder sputter |
Optie A: 8 arc + 1 set DC vlakke sputter; |
7 boog + 3 (of 4) paren MF cilinder sputters | 12 boog + 4 (of 6) paren MF cilinder sputters |
| Bediening & controlesysteem |
Siemens PLC + industriële computer + RoyalTech.Operatie Programma: |
|||
Deze configuraties zijn standaard, voor een specifieke zich ontwikkelende markt en nieuwe speciale coatings, de aangepaste configuraties en aanpassingen zijn op aanvraag beschikbaar.
Installatieprogramma vacuümsysteem Inbedrijfstelling
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u totale coatingoplossingen te bieden.
