Kenmerken van keramische PVD-coatingapparatuur:
1. De vacuümkamer is verticaal één open deur, 304 roestvrij staalvervaardigingen, vacuümkamerbinnendiameter van φ1400mm-Φ2000mm;
2. Vacuümsysteem door roterende schottenpomp, Roots-pomp en Oil Diffusion Pumps of Molecular Pump Constitution;
3. Het coatingsysteem maakt gebruik van 1-2 magnetisme met middelmatige frequentie om de sputterkrachtbron te regelen, heeft 1-2 paar niet-gebalanceerde magnetisme om het doel te regelen en heeft 14-40 boogbronnen.
4. Hoog rendement puls bias stroombron;
5. Het vergassingssysteem maakt gebruik van in eigen land geproduceerde of de invoer gasvormige massastroommeter, de gasstroom hoeveelheid controle (demonstratie) meter;
6. Het elektrisch bestuurde systeem zet het elektrische circuit overbelast, sluit de watertoevoer af, het akoestisch-optische alarmapparaat sterft;
7. Controlesysteem (touch-screen + PLC), real-time weergave gedetailleerde parameter, volledig automatische controle gehele productieproces, en automatische geheugen technologische parameter.
PVD-coatingapparatuur - RTAC1618-specificaties
| MODEL | RTAC1618 | ||
| MATERIAAL | Roestvrij staal (S304) | ||
| KAMERGROOTTE | Φ1600*1800mm (H) | ||
| POMP SYSTEEM | Vacuümpomp met roterende zuiger (mechanisch) | ||
| Vacuümpomp met roterende schoepen (vasthoudend) | |||
| Wortels Vacuümpomp | |||
| Diffusiepomp | |||
| TECHNOLOGIE | Ionenplating (bronnen met meerdere bogen) | ||
| TYPISCHE DOELEN | Chroom, Titanium, Zirkonium, TiAl | ||
| GAS | Gasmassastroommeters (Ar, N2) Argon, stikstof | ||
| CONTROLE | PLC (programmeerbare logische controller) | ||
| VEILIGHEIDSSYSTEEM | Talrijke veiligheidsvergrendelingen om operators en apparatuur te beschermen | ||
| KOELING | Koelwater recyclen | ||
| VERWARMING | Verwarming, tot 300℃ | ||
| VERMOGEN MAX. | 150KW (Ongeveer) | ||
| GEMIDDELDE STROOMVERBRUIK | 70KW (Ongeveer) | ||
Keramische PVD-coatingapparatuurgebruikt ionenplatingtechnologie om vaste metalen zoals titanium, chroom door kathodische boogbron te verdampen en de geïoniseerde metalen op het productoppervlak te condenseren om de nano-dunne film in een hoogvacuümomgeving te genereren.Met het reactieve gas zoals: Stikstof om verschillende kleuren te genereren.
Andere aangepaste machineafmetingen zijn beschikbaar op basis van gespecificeerde productafmetingen en capaciteitsvraag.
Model | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Kamer Binnenmaat | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Type voeding: | Boogvoeding, gloeidraadvoeding, pulsvoorspanningsvoeding | ||||||||||
| Structuur van vacuümkamer: | Verticale voordeurstructuur, achterste luchtuitlaatsysteem en dubbellaagse waterkoelingskamer | ||||||||||
| Materiaal van vacuümkamer: | roestvrij staal 304/316L | ||||||||||
| Ultiem vacuüm | 6.0x10-4Pa (lossen, reinigen, droogkamer) | ||||||||||
| Vacuümpompsnelheid | van atmosfeer tot 8.0*10-3Pa (15 minuten) | ||||||||||
| Vacuüm pompsysteem | Diffusiepomp of moleculaire pomp + Wortelpomp + Mechanische pomp + Holdingspomp (het specifieke model kan worden geselecteerd volgens de eisen van de klant) | ||||||||||
| Boogbron | 6 eenheden of 8 eenheden | 8 eenheden of 10 eenheden | 10 eenheden of 12 eenheden | 14 eenheden of 16 eenheden | 16 eenheden of 18 eenheden | ||||||
| Bias voeding | 20KW/set | 20KW/set | 30KW/set | 40KW/set | 50KW/set | ||||||
| Rijmodel | Planetaire omwenteling en rotatie, snelheidsregeling met variabele frequentie; (controleerbaar en verstelbaar) | ||||||||||
| Verwarmingssysteem | Regelbaar en regelbaar van kamertemperatuur tot 450°C (PID temperatuurregeling) | ||||||||||
| MFC | 3-pad of 4-pad procesgasstroomregeling en weergavesysteem, selectief automatisch begassingssysteem | ||||||||||
| Koelsysteem | Watercirculatie koelmodus, koelwatertoren of industriële waterkoeler of diep koelsysteem.(Geleverd door klanten) | ||||||||||
| Besturingsmodus: | Handmatige/automatische integratiemodus, bediening via touchscreen, PLC of computerbesturing | ||||||||||
| Totale kracht | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm en bescherming | Alarmwatertekort, overstroom en overspanning, open circuit en andere abnormale omstandigheden van pompen, doelen enzovoort en voer relevante beschermende maatregelen en elektrische vergrendelingsfunctie uit | ||||||||||
| Apparatuur gebied | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| Andere technische parameters: | Waterdruk ≥0.2MPa, Watertemperatuur ≤25°C, Luchtdruk 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| Opmerkingen | De specifieke configuratie van coatingapparatuur kan worden ontworpen volgens de procesvereisten van coatingproducten; | ||||||||||
Keramische vijlen PVD Coating Monsters
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u totale coatingoplossingen te bieden.
