Tantal ((Ta) Magnetron Sputtering Deposition System-RT1000-Ta

Magnetron Sputtering wordt veel gebruikt om vuurvaste metalen zoals tantaal, titanium, wolfraam te deponeren,Niobium, waarvoor zeer hoge afzettingstemperaturen vereist zijn, en edelmetaal: goud en zilver en die ook wordt gebruikt voor de afzetting van metalen met een lager smeltpunt zoals koper, aluminium, nikkel, chroom, enz.

Tantal wordt het meest gebruikt in de elektronische industrie.industrieals beschermende coating vanwege de goede weerstand tegen erosie.

Toepassingen van Sputtered Tantalum thin film:
1- de micro­elektronica­industrie, aangezien de films reactief kunnen worden gespuit en de weerstand en de temperatuurcoëfficiënt van weerstand kunnen worden gecontroleerd;

2. Medische instrumenten zoals lichaamsimplantaten vanwege de hoge biocompatibiliteit;
3. coatings op corrosiebestendige onderdelen, zoals thermowell, kleppen en bevestigingsmiddelen;
4. Sputtered tantaal kan ook worden gebruikt als een effectieve corrosiebestendigheidsbarrière als de coating is continu, defect en hecht aan het substraat is bedoeld om te beschermen.

Technische voordelen

1. Er wordt een gestandaardiseerde trolley aangebracht die het gemakkelijk en veilig mogelijk maakt om de substraathouders en werkstukken in/uit de afzettingskamer te laden/ontladen.
2. Het systeem is veilig vergrendeld om onjuiste werking of onveilige praktijken te voorkomen.
3. De substraatverwarmers zijn voorzien die in het midden van de kamer zijn gemonteerd, PID gecontroleerde thermocouple voor hoge nauwkeurigheid, om de condensfilm ’s hechting te verbeteren
4. Sterke vacuümpompconfiguraties met magnetisch ophangende moleculaire pomp via een hekklep verbonden met de kamer; ondersteund door de wortelpomp van Leybold's en de tweefasige rotatieve blaaspomp, mechanische pomp.
5. Met dit systeem wordt een energiebron van geïoniseerd plasma toegepast om de uniformiteit en dichtheid te garanderen.
   
   
   

Royal Technology's gestandaardiseerd Tantalum sputtering afzetting systeem:

Insite:

Gebouwd: 2018

Locatie: China

Neem contact met ons op voor meer toepassingen en specificaties.