IP van de roestvrij staalkom Gouden Platerenmachine/PVD-het Systeem van de Boog Vacuümdeklaag
IP van de roestvrij staalkom Gouden Platerenmachine
1. De luchtledige kamer is verticale open deur, 304 roestvrij staalvervaardiging, luchtledige kamer interne diameter van φ1000mm-Φ2200mm;
2. Vacuümsysteem door Roterende vinpomp, van de Wortelspomp en van de Olie Verspreidingspompen of Moleculaire Pompgrondwet;
3. Het deklaagsysteem gebruikt 1-2 middenfrequentiemagnetisme om de het sputteren krachtbron te controleren, heeft paar 1-2 van niet-evenwichtig magnetisme om het doel te controleren, en heeft 6-40 boogbronnen.
4. Bias krachtbron van de hoog rendementimpuls;
5. Het gasvormingssysteem gebruikt in eigen land geproduceerd of de debietmeter van de de invoer gasachtige massa, de van de het bedragcontrole van de gasmeter stroom (demonstratie);
6. De elektrisch gecontroleerde systeemonderneming de elektrische overbelaste kring, de watervoorziening afsnijdt, sterft het acousto-optics alarmapparaat;
7. Controlesysteem (touch screen +PLC), vertoning gedetailleerde parameter in real time, proces van de volledig automatische controle het volledige productie, en automatische geheugen technologische parameter
IP van de roestvrij staalkom de Specificaties van de Gouden Platerenmachine
Model |
Rtac-1008 | Rtac-1012 | Rtac-1213 | Rtac-1416 | Rtac-1618 | ||||||
| Kamer Binnengrootte | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1250x1350mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| Voedingtype | Boogvoeding, gloeidraadvoeding, impuls bias voeding | ||||||||||
| Structuur van luchtledige kamer | Verticale voordeurstructuur, achterluchtuitlaatsysteem en dubbel-laag waterkoelingskamer | ||||||||||
| Materiaal van luchtledige kamer | roestvrij staal 304/316L | ||||||||||
| Uiteindelijk vacuüm | 6.0x10-4Pa (leegmakende, schone, drogende kamer) | ||||||||||
| Vacuüm het Pompen Snelheid | van atmosfeer aan de notulen ≤15 van 8.0*10-3Pa | ||||||||||
| Vacuüm pompend systeem | Verspreidingspomp of moleculaire pomp + Wortelspomp + Mechanische pomp + Holdingspomp (het specifieke model kan volgens klantenvereisten worden geselecteerd) |
||||||||||
| Boogbron | 6 eenheden of 8 eenheden |
8 eenheden of 10 eenheden |
10 eenheden of 12 eenheden |
14 eenheden of 16 eenheden |
16 eenheden of 18 eenheden |
||||||
| Bias voeding | 20KW/set | 20KW/set | 30KW/set | 40KW/set | 50KW/set | ||||||
| Drijfmodel | Planetarische revolutie en omwenteling, de veranderlijke regelgeving van de frequentiesnelheid (controleerbaar en regelbaar) |
||||||||||
| Verwarmingssysteem | Controleerbaar en regelbaar van kamertemperatuur aan 450°C (PID temperatuurcontrole) |
||||||||||
| MFC | 3-weg of het gasdatatransportbesturing van het 4 wegproces en beeldschermsysteem, selectief automatisch vergassend systeem | ||||||||||
| Koelsysteem | Wateromloop het koelen wijze, koelwatertoren of industrieel water koeler of diep koelsysteem. (Verstrekt door klanten) | ||||||||||
| Controlewijze | Hand/automatische integratiewijze, touch screenverrichting, PLC of computercontrole | ||||||||||
| Totale macht | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarm en bescherming | Het tekort van het alarmwater, over stroom en overvoltage, de open kring en andere abnormale voorwaarden van pompen, doelstellingen etc. en voeren relevante beschermende maatregelen en elektrische koppelingsfunctie uit | ||||||||||
| Materiaalgebied | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| Andere technische parameters | Waterdruk ≥0.2MPa, Watertemperatuur ≤25°C, Luchtdruk 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| Opmerkingen | De specifieke configuratie van deklaagmateriaal kan volgens procesvereisten worden ontworpen om producten met een laag te bedekken | ||||||||||
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.
