Het Systeem van het de Filmdeposito van PVD het Dunne Sputteren en Thermisch Verdampend Vacuümdeklaagmateriaal
Systeem van het de Filmdeposito van PVD het Dunne, het Sputteren en Thermisch Verdampend Vacuümdeklaagmateriaal
Systeem van het de Filmdeposito van PVD het Dunne bevat de depositobronnen van de verdampingsbron van de Wolframgloeidraad en gelijkstroom-het magnetron sputtert bronnen (zijn de sputterende kathoden van rf voor optie). Dit materiaal wordt meestal gebruikt om dunne films op plastic delen, glas, metaal of folies met de het deponeren materialen als te deponeren: zuivere van van van van metaalal, Cr, Cu, Ag, Au, Ti enz. Verdampingsbronnen over het algemeen om hoge weerspiegelende dunne films op productenoppervlakten of geleidende films te verkrijgen, of een metaalvooruitzichtenbeeld te geven. Behalve dat condenseren de het sputteren bronnen een brede waaier van halfgeleidermaterialen en diëlektrica met inbegrip van transparante geleidende oxyden, enz.
Van het de Filmdeposito van PVD Dunne het Systeemconfiguraties:
Prestaties
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan beter 5.0×10-6 Torr.
2. Werkende Vacuümdruk: 1.0×10-4 torr.
3. Het pompen neer - tijd van 1 ATM aan 1.0×10-4 Torr≤3-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Metalizingsmateriaal (verdamping): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… enz.
5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel
lstructuur
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 1600mm
Binnenhoogte 1600mm
1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304 (het vloeistaal van SS41 voor optie)
Deur en flenzen SUS304 (het vloeistaal van SS41 voor optie)
De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
1.3 schild: SUS304
1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur
1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep, met inbegrip van knalpot
1.6 deursus304 materiaal
2. Rouhgings Vacuüm Pompend Systeem
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem
4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteemplc+ Touch screen
4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype
4.2 verdampingsmacht: 35kVA
4.3 het Systeem van de verdampingscontrole
4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag
4.5 vacuümdruk die Systeem meten
Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat
Thermokoppelmaat: 760 Torr van ~ 5*10-4 de Torr
4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting
4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator
5. Depositosysteem
5.1 de verdampingsbron van de wolframgloeidraad
5.2 thermische verdampingsmaterialen: draden, ringen, staven enz.
5.3 sputter bronnen (DC/MF-gedreven macht)
6. Subsysteem
6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole
6.2 koelwater systeem-Water stroompijp en het systeem van de schakelaarklep
Leer meer over de beschikbare machine en de toepassingen, alstublieft ons nu contacteren.
