Het Depositomateriaal van het hoge Prestaties Vacuümmetaal, CsI-vacuüm metallizer door Thermische Smeltkroes
Sleutelwoorden: hoge resolutie, CsI: T1; dunne scintillatorfilms; Röntgenstraalweergave; vacuümdepositomethode, het post-deposito van de koolstoflaag
Deposito van de CsI is het dunne film voor Röntgenstraalbeeldapparaten een geavanceerde techniek om CsI op het scherm te verdampen om een hoogte te geven - kwaliteit van weergave. Met zijn hoge die resolutieprestaties, ook wijd in veiligheids het controleren en inspectie, de onderwerpen van de hoge energiefysica, fysica van kernenergiegebieden enz. worden gebruikt.
Het systeem van de de verdampingsdeklaag van RTEP0913 thermische werd ontwikkeld voor CsI-filmdeposito bij de Röntgenstraalweergave in hoog vacuümdrukmilieu. CsI-T1 scintillators die zich van 2 μm aan 14 μm in dikte uitstrekken. De film van de koolstoflaag kan als post-deposito worden beschouwd om hoge resoluties te verbeteren.
Van het caesiumjodide (CsI-T1) Vacuüm het Depositoprestaties en karakteriseringen
Type:
l Verticale richtlijn, Cilinder, 1 deur, het voor openen.
Ontwerpeigenschappen:
l Ultrahoge uiteindelijke vacuümdruk: tot 9.0*10-5-Pa;
Snel l omhoog verwarmend apparaten voor een goede adhesie;
l Juiste hoge vacuümpompselectie en pompend systeem die gevaarmateriaal te vermijden in de lucht wordt blootgesteld;
l Robuust, compact en stevig deklaagsysteem;
l Hoge stabiliteit, die 960 uren zonder einde werken.
l Inficon het Controlemechanismeapparaat van de Filmdikte om de gealigneerde filmdikte te controleren.
l uitsluitend smeltkroezenontwerp en selectie voor CsI-deposito.
l Substraten die, max. grootte met een laag bedekken: 500*500mm
de l Geavanceerde concepten van het rekontwerp kunnen 2 stukkensubstraten per partij laden, hoogst de productieoutput verbeteren.
Technische Beschrijvingen:
l Prestaties
1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 9.0*10-5-beter Pa;
2. Werkende Vacuümdruk: 6.0*10-4-Pa~9,0*10-4 Pa;
Basis Vacuümdruk: 3.0*10-4-Pa
3. Het pompen neer - tijd: van 1 ATM aan 2,0×10-3 Pa ≤25 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Depositobron: de thermische verdamping van de kwartssmeltkroes
5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel
6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 1000℃,
TFT-glassubstraat die omhoog tijd verwarmen: van 0~250℃<40mins>
7. Het tarief van het CsIdeposito: 0~100nm/sec
8. CsI: T1 filmdikte: tot 600μm
l Structuur
De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:
1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 900mm
Binnenhoogte: 1300 mm
1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304
Deur en flenzen SUS304
De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.
1.3 verdampingsschild: SUS304
1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur
1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)
1.6 deur: SUS304 materiaal
2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:
Vacuümpomp van de olie de roterende vin + wortelspomp (Duitsland Pfeiffer)
3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem:
Magnetische Opschortings Moleculaire Pomp (Duitsland Pfeiffer)
4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteemplc+ Touch screen
4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype
4.2 verdampingsmacht
4.3 het Systeem van de verdampingscontrole
4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag
4.5 het meten van Systeem
Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat
Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
Het controlemechanisme van de filmdikte: Inficonmerk, sqc-310
4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting
4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator
5. Depositosysteem
5.1 depositobron: kwartssmeltkroes
5.2 depositomateriaal: CsI, Koolstof
6. Subsysteem
6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole
6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep
Werkomgeving
Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2
Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,
Macht: 3 faseer 380V 50Hz (60Hz), kVA 65, gemiddelde machtsconsumptie: 30KW
Installatiegebied: (L*W*H) 3000*200*2300mm
Uitlaat: Opening voor mechanische pompen
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.
