PECVD-van het de Deklaagsysteem van Magnetron Optische Films Multifunctionele PVD van de het Veelvlakstructuur de Vacuümdeklaagmachine

Van het de Filmsdeposito van PECVD & van het Magnetron de Optische van het het Systeemveelvlak Machine van de de Structuur Vacuümdeklaag

De Multi950-machine is een aangepast veelvoudig systeem van het functies vacuümdeposito voor O&O. Met de bespreking van het half jaar met het team van de Universiteit van Shanghai leaded door Professor Chen, bevestigden wij definitief het ontwerp en de configuraties om theirs te vervullen R&D-toepassingen. Dit systeem kan transparante DLC-film met PECVD-proces, harde deklagen op hulpmiddelen, en optische film deponeren met het sputteren van kathode. Gebaseerd op dit proefconcept van het machineontwerp, hebben wij 3 andere deklaagsystemen na toen ontwikkeld:

1. Bipolaire Plaatdeklaag voor de Elektrische Voertuigen FCEV1213 van Fuel Cell,
2. Ceramisch Direct Geplateerd Koper DPC1215,
3. Flexibel Sputterend Systeem RTSP1215.

De deze 4 modellenmachine is allen met Achthoekige kamer, worden de flexibele en betrouwbare prestaties uitgebreid gebruikt in diverse toepassingen. Het stelt de deklaagprocessen tevreden vereist multi verschillende metaallagen: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS en veel andere niet feeromagnetic metalen;
plus Ionenbron verbetert de eenheid, efficiënt filmsadhesie op verschillende substraatmaterialen met zijn prestaties van de plasmaets en, het PECVD-proces om sommige op koolstof-gebaseerde lagen te deponeren.

Multi950 is de mijlpaal van de geavanceerde systemen van de ontwerpdeklaag voor Koninklijke Technologie. Hier, zijn wij de dankbare Universitaire studenten van dankshanghai en vooral Proces Yigang Chen, zijn creatieve en onzelfzuchtige toewijding onbeperkte waarden en geïnspireerd ons team.

In jaar 2018, hadden wij een andere projectsamenwerking met Pressor langs Chen, materieel deposito c-60
Aanleidinggevende thermische verdampingsmethode. Wij danken heartfully M. Yimou Yang en Professor Chen's het leiden en instructie op elk innovatief project.

Voordelen:

Compacte Voetafdruk,
Standaard Modulair Ontwerp,
Flexibel,
Betrouwbaar,
Achthoekige Kamer,
2 deurstructuur voor goede toegang,
Processen van PVD + PECVD-.
 

Ontwerpeigenschappen: 

1. Flexibiliteit: De boog en de sputterende kathoden, Ionen bron het opzetten flenzen zijn gestandaardiseerd voor flexibele uitwisseling;
2. Veelzijdigheid: kan verscheidenheid van onedele metalen en legeringen deponeren; optische deklagen, harde deklagen, zachte deklagen, samenstellingsfilms en stevige smerende films op de metaal en niet-metalen materialensubstraten.
3. Ongecompliceerd ontwerp: 2 deurstructuur, voorzijde & rug die voor gemakkelijk onderhoud openen.

Technische Beschrijving:

Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.