Porselein Gouden Plateren, Keramische tegels Zilveren Deklaag, Pvd-Platerenmachine voor Mozaïek

                 Magnetron dat van de oppervlakte het Kleurrijke Film de Vacuümdeklaagmachine van Pvd voor Mozaïek sputtert 

Toepassingen:

De RTSP1213-machine is een partij model sputterend systeem, kan stortingen diverse harde deklagen, zachte deklagen, samenstellingsfilms en stevige smerende films op de metaal en niet-metalen materialensubstraten. Van toepassing geweest op Mozaïek, de industrieën van de voertuigen van Waterstoffuel cell, photonicsproducten, ruimte en andere nieuwe energieindustrieën.

Eigenschappen:

Om het geleidingsvermogen van oppervlakte te verbeteren;

 Hoge corrosieweerstand;

 Hoge slijtageweerstand;

 Hoge hardheid

 Hydrophobic samenstellingsfilm en andere functionele films

Beschikbaar voor samenstellingsdeklagen: metaal en niet-metalen films.

De waaier van de filmdikte van 100nm aan 12μm, diktetolerantie ±5%
 Sterke adhesie.

 De lage aanmakende verhardende behandeling van de delenoppervlakte.

Type:

Verticale richtlijn, veelvlakstructuur, 2 deuren (voorzijde en rug)

Eigenschappen:

• Milieuvriendelijk systeem, geen industrieel afvalwater, lucht en geluidshinder;
• Gemakkelijke Verrichting: Touch screen + PLC controle en uniek softwareprogramma voor één aanrakingsverrichting, meer dan 80%-probleem - het ontspruiten alarm.
• Tot 10 die receptenlogin en steun verwerken; hoge herhaalbaarheid en diversiteit.
• Speciaal ontwerp van Carrouselsysteem voor hoge uniformiteit van filmdeposito.
• Hoge productiviteit en hoog - kwaliteit
• Stabiel en betrouwbaar systeem, dat 365 dagen * 24hrs (onderhoud en reparatie brekende tijd) in werking stelt
• Efficiency pompend systeem: kortere vacuümleidingenlijnen voor maximumleidingensnelheid met goed - bekende het merkpompen van Europa
• Het compacte ontwerp bezet minimuminstallatieruimte.

Technische Beschrijvingen

• Prestaties

1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 8.0*10-5-beter Pa;

• Basis Vacuümdruk: 3.0*10-4 pa

3. Het pompen neer - tijd: van ATM aan 1.0×10-3 Pa≤15-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)

4. Depositobron: evenwichtige/uit zijn evenwicht gebrachte sputterende kathoden

5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel

6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 450℃,

7. Plasma het schoonmaken en het Plasma staan deposito bij: Anode Lineaire Ionenbron

8. Gesloten magnetisch - ingediende Lijn. (Onevenwicht/saldokathoden)

9. Bias Voeding voor gloed het lossen.

• Structuur

De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:

1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 1200mm

Binnenhoogte: 1300mm

1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304

Deur en flenzen SUS304

De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

1.3 sputterend Schild: SUS304

1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur - 4 reeksen (2 op elke deur)

1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)

1.6 deur: SUS304 materiaal

2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:

De vacuümpomp+roots pomp van de olie roterende vin + Holdingspomp (Leybold)

3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem:

Magnetische Opschortings Moleculaire Pomp (Leybold)

• Poortkleppen - 2 reeksen

4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteemplc+ Touch screen

4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype

4.2 sputterende Voeding + Ionen bronvoeding + Bias Voeding (Geavanceerde Energie)

4.3 het sputterende systeem van de depositocontrole

4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag

4.5 het meten van Systeem

Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat -- Het merk van Europa

Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
MFC: Het Controlemechanisme van de massastroom (4 manieren), digitale weergavemodus-- Het merk van Europa

4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting

4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator

5. Depositosysteem

5.1 depositobron: Sputterende kathoden, Ionenbron -- Het merk van Europa

5.2 depositomateriaal: Koolstofdoel

6. Subsysteem

6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole

6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep

7.Working milieu

Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2

Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,

Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 40KW

Installatiegebied: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Uitlaat: Opening voor mechanische pompen

Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.