Ni PVD Sputterende Coating Plant, Cr Vacuüm Metalliseren Systeem, Sn /Ag Vacuüm Plating Apparatuur, Koper Plating Plant
Materiaalstructuur:
De RTAC1215-SP-machine is van het octcal-type, bestaande uit vacuümpompen, een vacuümkamer waarin 8 boogkathoden zijn gemonteerd, 1 lineaire ionenbron, 2 sets DC-sputterkathodes en 1 paar MF-sputterkathodes.De ionenbron, sputterkathodes gemonteerde flenzen zijn gestandaardiseerd en kunnen flexibel worden uitgewisseld op basis van de daadwerkelijke vraag van het coatingproces.
Toepassingen:
1. DPC-industrie voor keramische afdichtingsonderdelen, DPC-proces, koper PVD-sputtersysteem, LED-keramische chips met Cooper-plating, Al2O3, AlN keramische printplaten, Al2O3-platen op LED, halfgeleider
2. Zilver, Ni, Chroom, Goud, Aluminium, In, Sn etc. metaalfilms en TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN etc.
Voordelen:
1. Kostenefficiënte productie
2. Humanisering van de werkplek (ergonomisch ontwerp van de werkplek, minimalisering van ruimte, geluid en gevaar voor ongevallen)
3. Hoge kwaliteit opbrengst.
4. Sterke hechting met krachtig verwarmingsapparaat en plasmabronreiniging;
5. Compact ontwerp en met gemakkelijke toegang voor upgrade- en onderhoudswerkzaamheden.
6. Volledige automatisering, PLC + touchscreen, one-touch controlesysteem.
7. Hoog rendement met minder stroomverbruik, max.50% productiekostenbesparing.
Technische specificaties:
1. Ultieme vacuümdruk: beter dan 9,0 * 10-5Vader;
3. Afpompen Tijd: van ATM tot 1.0×10-3Pa≤15 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4. Afzettingsbron: Gencoa magnetron sputterkathodes, gestuurde boogkathoden, Ionenbron
5. Bedrijfsmodel: volledig automatisch / semi-automatisch / handmatig;
6. Verwarming: van kamertemperatuur tot max.500℃,
9. Ionenbron voor PECVD- en PA PVD-proces.
De vacuümcoatingmachine bevat het belangrijkste voltooide systeem dat hieronder wordt vermeld:
1. Vacuümkamer
1.1 Maat: Binnendiameter: 1200mm
Binnenhoogte: 1500 mm
1.2 Materiaal: Vacuümkamer SUS304
Deur en flenzen SUS304
Kamer versterkt structuur: SS41 zacht staal, met geverfde oppervlaktebehandeling.
Kamerchassis SS41 zacht staal met geverfde oppervlaktebehandeling.
1.3 Kamerscherm: SUS304
1.4 Zichtvenster: 2 op deur
1.5 Ontluchtingsklep vacuümkamer (inclusief geluiddemper)
1.6 Deur: SUS304-materiaal;
2. Ruw vacuümpompsysteem:
Oliedraaischuifvacuümpomp + Holding Pump
Moleculaire pomp met magnetische ophanging - 2 sets
4. Elektrisch controle- en besturingssysteem- PLC + touchscreen-bedieningssysteem:
leveranciers:
PLC: Mitsubishi + touchscreen (gemaakt in China)
Elektronische componenten: SCHNEIDER, OMRON.
Veiligheidsbeschermingssysteem:Talrijke veiligheidsvergrendelingen om operators en apparatuur te beschermen (water, stroomgas, temperatuur enz.)
Systeem voor coatingprocessen: Proces Automatisering & Controle.
4.1 Hoofdcircuit: schakelaar zonder zekering, elektromagnetische schakelaar, C/T in serietype
4.2 Voeding: DC/MF sputtervermogen + DC Arc power + Bias Power Supply
4.3 Depositiecontrolesysteem
4.4 Besturingssysteem: touchscreen + PLC, receptcontrole en datalogging, automatische uitschakeling, automatische evacuatie, automatische coating
4.5 Meetsysteem
Vacuümdruk: Vacuümmeter: Pirani + Penning-meter + Volledig bereik vacuümmeter - Europees merk
Temperatuurmeetapparaat: Thermokoppel
MFC: Mass Flow Controller (4 manieren),
4.6 Alarmsysteem: Persluchtdruk, Koelwaterstroom, Mis-operatie
4.7 Stroombelastingsindicator: spanningsindicator en belastingsstroomindicator
5.Afzettingssysteem
5.1 Afzettingsbron: Sputterkathodes + Boogbronnen + Ionenbron
5.2 Afzettingsmateriaal: koper, aluminium, chroom, zilver, goud, RVS, titanium enz.
6.Subsysteem
6.1 Regelsysteem voor luchtgecomprimeerde kleppen
6.2 Koelwatersysteem: waterstroomleiding en schakelklepsysteem;
Perslucht: 5~8kg/cm2
Koelwater: Water-In Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in druk: 2~3 kg/cm2,
Vermogen: 3 fasen 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, gemiddeld stroomverbruik: 60KW
Installatiegebied: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
Uitlaat: Ventilatie voor mechanische pompen
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology ondersteunt u met totale coatingoplossingen.
