DC en MF Magnetron sputtercoatingmachine, diepzwarte PVD-coatingoplossingen
Magnetron sputtercoating
Plasma-coating
Magnetronsputteren is een plasmacoatingproces waarbij sputtermateriaal wordt uitgeworpen als gevolg van een bombardement van ionen op het doeloppervlak.De vacuümkamer van de PVD-coatingmachine is gevuld met een inert gas, zoals argon.Door een hoge spanning aan te leggen, wordt een glimontlading gecreëerd, wat resulteert in versnelling van ionen op het doeloppervlak en een plasmacoating.De argon-ionen zullen sputterende materialen van het doeloppervlak afstoten (sputteren), wat resulteert in een gesputterde coatinglaag op de producten voor het doel. Magnetron sputtertechnologie wordt gekenmerkt door:
| MODEL | RTAC1250-SPMF | ||||||
| TECHNOLOGIE | MF Magnetron sputteren + ionenplateren | ||||||
| MATERIAAL | Roestvrij staal (S304) | ||||||
| KAMERGROOTTE | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| KAMERTYPE: | Cilinder, verticaal, 1-deurs | ||||||
| SPUTTERSYSTEEM | Exclusief ontworpen voor dunne zwarte filmafzetting | ||||||
| DEPOSITIE MATERIAAL: | Aluminium, zilver, koper, chroom, roestvrij staal, Nikkel |
||||||
| DEPOSITIE BRON | 2 sets MF cilindrische sputterdoelen + 8 gestuurde kathodische boogbronnen + ionenbron voor optioneel | ||||||
| GAS | MFC- 4 manieren, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| CONTROLE | PLC (programmeerbare logische controller) + | ||||||
| POMP SYSTEEM | SV300B - 1 set (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1 reeksen (Leybold) | |||||||
| D60T-1 reeks (Leybold) | |||||||
| Moleculaire turbopompen: 2* F-400/3500 | |||||||
| VOORBEHANDELING | Bias-voeding: 1*36 KW | ||||||
| VEILIGHEIDSSYSTEEM | Talrijke veiligheidsvergrendelingen om operators te beschermen | ||||||
| KOELING | Koud water | ||||||
| ELEKTRISCHE STROOM | 480V/3 fasen/60HZ (compatibel met de VS) | ||||||
| 460V/3 fasen/50HZ (compatibel met Azië) | |||||||
| 380V/3 fasen/50HZ (conform EU-CE) | |||||||
| VOETAFDRUK | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| TOTALE GEWICHT | 7.0 T | ||||||
| VOETAFDRUK | (L*B*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| CYCLUSTIJD | 30~40 minuten (afhankelijk van substraatmateriaal, substraatgeometrie en omgevingsomstandigheden) |
||||||
| VERMOGEN MAX.. | 155 kW | ||||||
| GEMIDDELD VERMOGEN VERBRUIK (ONGEVEER) |
75 kW |
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u totale coatingoplossingen te bieden.
