![]() |
Merknaam: | ROYAL |
Modelnummer: | RTRS |
MOQ: | 1 set |
Prijs: | onderhandelbaar |
Betalingsvoorwaarden: | L / C, T / T |
Toeleveringsvermogen: | 6 reeksen per maand |
De RTAS-reeks is een geïntegreerde veelvoudige deposito bronmachine aan algemene grafiet, straalzwarte, blauw, koper en bronskleuren op metaaldelen, roestvrij staalvoorwerpen. In het bijzonder gebruikt voor hoge de luxedelen van de eindklasse.
Standaardtoepassing
Juwelen, horlogeriemen en organismen, Roestvrij staalsporten, het Schrijven instrumenten
De elektronika van de consument: Mobiele Telefoon, Laptop, Camera, Hommels
De RTAS-machines met cirkelboog en cilinder het sputteren depositobronnen die worden uitgerust. Veelvoudige combinaties van gelijkstroom-het sputteren, MF het sputteren, boogverdamping en Ionenbron enz. Allen zijn beschikbaar in één enkele machine, voor een hoge flexibiliteit in configuraties om diverse toepassingen tevreden te stellen. Vooral voor kleine componenten esthetische deklagen: straalzwarte, koper, messings en chroomkleuren.
Wat sputtert MF?
Het vergeleken met het sputteren van gelijkstroom en rf-, medio-Frequentie is sputteren een hoofd dunne film het sputteren techniek voor massaproduktie van deklaag, in het bijzonder voor het filmdeposito van diëlektrische en niet geleidende filmdeklagen op oppervlakten zoals optische deklagen, zonnepanelen, veelvoudige lagen, samengesteld materiaalfilm enz. geworden.
Het vervangt rf-sputteren wegens in werking gesteld het met kHz eerder dan Mhz voor een veel sneller depositotarief en kan ook de Doelvergiftiging tijdens samenstelling vermijden filmt dun deposito zoals gelijkstroom.
MF sputterende doelstellingen er bestonden altijd met twee-reeksen. Twee die kathoden worden met een AC stroom gebruikt afwisselend tussen hen wordt geschakeld welke de doeloppervlakte met elke omkering schoonmaakt om de lastenopeenhoping op diëlektrica te verminderen die tot het een boog vormen leidt die druppeltjes kan spuiten in het plasma en de eenvormige dunne filmgroei verhinderen die is wat wij Doelvergiftiging noemden.
Technische Specificaitons
Nr. | Naam |
1 | Vacuüm Pompend Systeem: Turbo Moleculaire pomp + Wortelspump+ Mechanische Pomp + Holdingspomp |
2 | Vacuüm Metend Systeem: Pirani + Opsluitend Maten |
3 | Verwarmingssysteem: verwarmers voor substraten die omhoog de adhesie verwarmen te verbeteren |
4 | Water/Samengeperste Luchtdistributiesysteem: het modulaire ontwerp en fabaricated |
5 | Cilinder Sputterende Kathoden: 2/4/6/8 paren tweelingendoelstellingen voor optie |
6 | Vacuümpoortklep (als optie) |
7 | Elektrobijlage (Ce-norm) |
8 | Luchtledige kamer (SS304/316L zoals gevraagd) |
9 | Kathodische Boogbron (conventionele boogkathoden) |
10 | Weergevenhaven (2 verdeeld op de deur voor inspectie binnen van depositokamer) |
11 | De Distributiesysteem van het verwerkingsgas (het Controlemechanisme van de Meterstroom voor 4 kanalen) |
12 | Rek Drijfsysteem (planetarisch drijfmodel) |
13 | Carrousel |
Beschrijving | RTAS1250 | RTAS1612 |
Depositokamer (mm) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
Het planetarische Drijven Efficiënt Deklaaggebied (mm) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
Cirkelboogkathode (reeksen) | 7 | 12 |
Cilinder Sputterende Kathoden (paren) | 3 /4 | 4 / 6 |
Gepulseerde Bias Macht (KW) |
36 | 48 |
Het Sputteren van gelijkstroom/MF Macht (kW) | 36 | 4*36 |
Boogmacht (kW) | 7*5 | 12*5 |
Vacuümpompen |
2* turbo Moleculaire Pompen 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
3* turbo Moleculaire Pompen 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
Max. Machtsconsumptie (kW) | 200 | 245 |
Gemiddelde Machtsconsumptie (kW) | <75> | <100> |
Verrichting Ruimtemm (van L*W*H) | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Flexibele configuraties: de machine wordt geplaatst volgens deklaagprocessen en de eisen van klanten
Insite