|
| Merknaam: | ROYAL |
| Modelnummer: | RTAS1215 |
| MOQ: | 1 set |
| Prijs: | onderhandelbaar |
| Betalingsvoorwaarden: | BEVESTIGINGSBRIEF, D/A, D/P, T/T |
| Toeleveringsvermogen: | 6 reeksen per maand |
AlN Chips kopersputtering afzetting systeem, aluminiumnitride PVD kopersputtering machine
Prestaties
1. Ultieme vacuümdruk: beter dan 5,0 × 10-6Torr.
2Werk vacuümdruk: 1,0 × 10-4Torr.
3. Pomptijd: van 1 atm tot 1,0 × 10-4Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)
4Metalliserend materiaal (sputtering + arc verdamping): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr enz.
5Operatiemodel: volledig automatisch/semi-automatisch/handmatig
Structuur
De vacuümcoatingsmachine bevat het volgende compleet systeem:
1Vacuümkamer.
2. Ruwe vacuümpompinstallatie (backpumppakket)
3. Hoog vacuümpompsysteem (magnetisch ophangende moleculaire pomp)
4Elektrisch besturingssysteem
5. Hulpfaciliteitssysteem (subsysteem)
6. Depositiesysteem
Koperspuitcoatingsmachine Sleutelkenmerken
1. Uitgerust met 8 sturenboog kathoden en DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, Ion source unit.
2- Meerschaal en co-afzetting beschikbaar
3- Ionbron voor plasmaring voorbehandeling en ionstraal-geassisteerde afzetting om de filmslijm te verbeteren.
4- Verwarmingseenheid voor keramische/ Al2O3/AlN-substraten;
5. Rotatie- en omwentelingssysteem van het substraat, voor eenzijdige en tweezijdige coating.
Cooper Magnetron Sputtering Coating Plant op keramisch stralend substraat
Het DPC-proces - Direct Plating Copper is een geavanceerde coating technologie die wordt toegepast bij LED / halfgeleider / elektronische industrieën.
Cooper geleidende folie afzetting op Al2O3, AlN-substraten door middel van PVD vacuümsputtering technologie, in vergelijking met traditionele productiemethoden: DBC LTCC HTCC,de productiekosten zijn veel lager.
Royal Technology team assisteerde onze klant om het DPC proces succesvol te ontwikkelen met PVD sputtering technologie.
De machine RTAC1215-SP is uitsluitend ontworpen voor koperen geleidende filmcoating op keramische chips, keramische schakelplaten.
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u complete coating oplossingen te bieden.
