|
| Merknaam: | ROYAL |
| Modelnummer: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 set |
| Prijs: | onderhandelbaar |
| Betalingsvoorwaarden: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| Toeleveringsvermogen: | 6 reeksen per maand |
Machinemodel: RT1200-FCEV
Technologie: met PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositing: Si, Cr, grafietdoelen, om een onevenwichtig gesloten magnetisch veld te genereren voor een hoge dichtheid,film op koolstofbasis met een hoge uniformiteit en een uitstekende corrosiebestendigheid.
Dit.RTvervoerhet hoog vacuüm magnetron sputtering afzetting systeem is een op maat gemaakt model dat verwijst naar het model Multi950-R & D dat we hebben gebouwd voor Shanghai University.
Het is ontworpen met Octal kamer, flexibele en betrouwbare prestaties worden veel gebruikt in verschillende toepassingen.Grafiet, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS en vele andere niet-ferromagnetische metalen; plus de Ionbron-eenheid,
de filmhaarheid op verschillende substraatmaterialen efficiënt verbeteren met zijn plasma-etsenprestaties en het PECVD-proces om sommige koolstofhoudende lagen af te leggen.
Vervaardiging:
Verticale oriëntatie, achthoekige structuur, 2 deuren open (voor en achter) voor gemakkelijke toegang.
Vervaardiging:
Milieuvriendelijk systeem, geen gevaarlijk afval
Hoge integratie, modulair ontwerp
Gecommercialiseerd en gestandaardiseerd voor industriële massaproductie
Uiterst efficiënte ionenbron voor sterke hechting en hoge ionisatie
Eenvoudige bediening: aanraakscherm + PLC-besturing, één aanraak
Met de software van Royal Technology kunnen procesparameters worden geprogrammeerd, opgeslagen en gereproduceerd
Speciaal ontwerp van Carousel-systeem voor zeer uniforme afzetting
Hoge productiviteit en stabiliteit, 24 uur per dag, 7 dagen per week
Flexibel, geschikt voor platen van verschillende afmetingen, voor eenzijdige of dubbelzijdige bekleding
PVD- en PECVD-coatingfilmprestaties:
Om de geleidbaarheid van het oppervlak te verbeteren
Hoge corrosiebestendigheid
Hoge slijtvastheid
Hoge hardheid
Hydrofobe compositiefilm en andere functionele films
Beschikbaar voor samengestelde coatings: metalen en niet-metalen films
Filmdikte van 100 nm tot 12 μm, tolerantie dikte ± 5% Sterke hechting
Onderdelen met een lage tempering
| Modellen | RTvervoer | |||||||||
| Materiaal | Roestvrij staal (S304) | |||||||||
| Grootte van de kamer | Φ1250*1350 mm (H) | |||||||||
| KAMERTYPE | Voor- en achterconstructie met twee deuren, verticaal | |||||||||
| Eenvoudige pompverpakking | Roterende zuigervacuümpomp | |||||||||
| Roots vacuümpomp | ||||||||||
| Magnetische moleculaire suspensiepomp | ||||||||||
| Rotatiepomp met schroef (houdpomp) | ||||||||||
| Technologie | Magnetronsputtering, Ionbron PECVD | |||||||||
| Energievoorziening | Sputtering stroomvoorziening + Bias stroomvoorziening + Ion Source | |||||||||
| De in de bijlage vermelde gegevens zijn van toepassing op de in de bijlage opgenomen gegevens. | 2 paren DC/RF-sputteringkatodes + (2 paren reserve met behulp van) + Ionbron | |||||||||
| Controle | PLC+Touch Screen | |||||||||
| GAS | Gasmassa-stroommeters (Ar, N2, C2H2, O2) Argon, stikstof en ethyne,zuurstof | |||||||||
| Veiligheidssysteem | Talrijke veiligheidssluitingen ter bescherming van gebruikers en apparatuur | |||||||||
| Verwarming | Koelwater | |||||||||
| Reiniging | Glow Discharge/Ionbron | |||||||||
| Power Max. | 150 kW | |||||||||
| Gemiddeld energieverbruik | 75 kW | |||||||||
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u complete coating oplossingen te bieden.
