Magnetron Sputtering Depositiesysteem

  Photonics sputtert Depositosysteem voor Hydrophobic Samenstellingsfilm en Andere Functionele Films

Toepassingen:

De RTSP1213-machine is een partij model sputterend systeem, kan stortingen diverse harde deklagen, zachte deklagen, samenstellingsfilms en stevige smerende films op de metaal en niet-metalen materialensubstraten. Van toepassing geweest op de industrieën van de voertuigen van Waterstoffuel cell, photonicsproducten, ruimte en andere nieuwe energieindustrieën.

Eigenschappen:

Om het geleidingsvermogen van oppervlakte te verbeteren;

 Hoge corrosieweerstand;

 Hoge slijtageweerstand;

 Hoge hardheid

 Hydrophobic samenstellingsfilm en andere functionele films

Beschikbaar voor samenstellingsdeklagen: metaal en niet-metalen films.

De waaier van de filmdikte van 100nm aan 12μm, diktetolerantie ±5%
 Sterke adhesie.

 De lage aanmakende verhardende behandeling van de delenoppervlakte.

Type:

Verticale richtlijn, veelvlakstructuur, 2 deuren (voorzijde en rug)

Eigenschappen:

• Milieuvriendelijk systeem, geen industrieel afvalwater, lucht en geluidshinder;
• Gemakkelijke Verrichting: Touch screen + PLC controle en uniek softwareprogramma voor één aanrakingsverrichting, meer dan 80%-probleem - het ontspruiten alarm.
• Tot 10 die receptenlogin en steun verwerken; hoge herhaalbaarheid en diversiteit.
• Speciaal ontwerp van Carrouselsysteem voor hoge uniformiteit van filmdeposito.
• Hoge productiviteit en hoog - kwaliteit
• Stabiel en betrouwbaar systeem, die 365 dagen * 24hrs in werking stellen (onderhoud en reparatie brekende tijd)
• Efficiency pompend systeem: kortere vacuümleidingenlijnen voor maximumleidingensnelheid met goed - bekende het merkpompen van Europa
• Het compacte ontwerp bezet minimuminstallatieruimte.

Technische Beschrijvingen

• Prestaties

1. Uiteindelijke Vacuümdruk: dan 8.0*10-5-beter Pa;

• Basis Vacuümdruk: 3.0*10-4 pa

3. Het pompen neer - tijd: van ATM aan 1.0×10-3 Pa≤15-notulen (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)

4. Depositobron: evenwichtige/uit zijn evenwicht gebrachte sputterende kathoden

5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel

6. Het verwarmen: van kamertemperatuur tot max. 450℃,

7. Plasma het schoonmaken en het Plasma staan deposito bij: Anode Lineaire Ionenbron

8. Gesloten magnetisch - ingediende Lijn. (Onevenwicht/saldokathoden)

9. Bias Voeding voor gloed het lossen.

• Structuur

De vacuümdeklaagmachine bevat zeer belangrijk voltooid hieronder vermeld systeem:

1. Luchtledige kamer
1.1 grootte: Binnendiameter 1200mm

Binnenhoogte: 1300mm

1.2 materiaal: Luchtledige kamer SUS304

Deur en flenzen SUS304

De kamer versterkt structuur: SS41 vloeistaal, met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

Het vloeistaal van kamerchassis SS41 met geschilderde het eindigen oppervlaktebehandeling.

1.3 sputterend Schild: SUS304

1.4 Weergevenvenster: op kamerdeur - 4 reeksen (2 op elke deur)

1.5 luchtledige kamer het Luchten Klep (met inbegrip van knalpot)

1.6 deur: SUS304 materiaal

2. Ruwe bewerkings Vacuüm Pompend Systeem:

De vacuümpomp+roots pomp van de olie roterende vin + Holdingspomp (Leybold)

3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem:

Magnetische Opschortings Moleculaire Pomp (Leybold)

• Poortkleppen - 2 reeksen

4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteemplc+ Touch screen

4.1 hoofdkring: De schakelaar van de niets-zekeringsbreker, elektromagnetische schakelaar, C/T in reekstype

4.2 sputterende Voeding + Ionen bronvoeding + Bias Voeding (Geavanceerde Energie)

4.3 het sputterende systeem van de depositocontrole

4.4 verrichtingssysteem: Touch screen + PLC, receptencontrole en gegevensregistreren, Autosluiting, autoevacuatie, autodeklaag

4.5 het meten van Systeem

Vacuümdruk: Vacuümmaat: Pirani + Opsluitend maat + Volledige waaier vacuümmaat -- Het merk van Europa

Temperatuur meetinstrument: Thermokoppel
MFC: Het Controlemechanisme van de massastroom (4 manieren), digitale weergavemodus-- Het merk van Europa

4.6 alarmsysteem: Samengeperste luchtdruk, het Koelen waterstroom, mis-Verrichting

4.7 de Indicator van de machtslading: Voltageindicator en ladings huidige indicator

5. Depositosysteem

5.1 depositobron: Sputterende kathoden, Ionenbron -- Het merk van Europa

5.2 depositomateriaal: Koolstofdoel

6. Subsysteem

6.1 het lucht Samengeperste Systeem van de Klepcontrole

6.2 koelwatersysteem: De pijp van de waterstroom en het systeem van de schakelaarklep

7.Working milieu

Samengeperste Lucht: 5~8kg/cm2

Koelwater: Water-in Temperatuur: 20~25℃, 200 Liter/min,
Water-in Druk: 2~3 kg/cm2,

Macht: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, gemiddelde machtsconsumptie: 40KW

Installatiegebied: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

Uitlaat: Opening voor mechanische pompen

Waarom ons?

1. Het geavanceerde productiemechanisme (malen, lassen, knipsel, vacuümlek die testen die) met gestandaardiseerde productieprocedures en strikte tests wordt gecombineerd laat Koninklijke Technologie toe om hoogte te veroorzaken - de systemen van de kwaliteit, betrouwbare en lage kostendeklaag.

2. De kwaliteit, de dienst en op tijd de levering zijn de kernprincipes van de zaken van de Koninklijke technologie. Een strategie om eenvoudige componenten aan professionele vervaardiging openlijk te delocaliseren staat ons toe om aandacht aan essentiële onderdelen en componenten R&D, productie te concentreren.

3. Het strikte kwaliteitscontrolebeleid en de strenge selectie van gekwalificeerde leveranciers verzekeren de klanten van de Koninklijke Technologie het meest geavanceerd, high-end betaalbare kosten van het kwaliteitsmateriaal de hoogstens ontvangen.

Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.

Om de voltooide brochure te downloaden, gelieve te klikken hier:  De vacuümdeklaagmachine van R&D - depositio van PECVD + PVD-…