DPC keramische PVD vacuümcoatingsmachine voor stralend substrat

Het DPC-proces - Direct Plating Copper is een geavanceerde coating technologie die wordt toegepast bij LED / halfgeleider / elektronische industrieën.

Cooper geleidende folie afzetting op Al2O3, AlN, Si, glassubstraten door middel van PVD vacuümsputtering technologie, in vergelijking met traditionele productiemethoden: DBC LTCC HTCC, de kenmerken:

1Veel lagere productiekosten.

2Uitstekend warmtebeheer en warmteoverdracht

3Precieze uitlijning en patroonontwerp,

4. Hoge circuitdichtheid

5. Goede hechting en soldeerbaarheid

Royal Technology team hielp onze klant om het DPC proces met succes te ontwikkelen met PVD sputtering technologie.
Door de geavanceerde prestaties worden de DPC-substraten veel gebruikt in verschillende toepassingen:

LED met hoge helderheid om de lange levensduur te verlengen vanwege de hogewarmtestralingprestaties, halfgeleiderapparatuur, draadloze communicatie in de microgolven, militaire elektronica, verschillende sensorsubstraten, luchtvaart, spoorvervoer, elektriciteitsenergie, enz.

De RTAC1215-SP-apparatuur is exclusief ontworpen voor het DPC-proces waarbij de koperlaag op het substraat wordt geplaatst.met multi-boog-ionplating en magnetronsputtering om een ideale film met een hoge dichtheid te verkrijgenHet is de cruciale stap voor de rust DPC-proces.

Koperspuitcoatingsmachine Sleutelkenmerken

1. Uitgerust met 8 sturenboog kathoden en DC Sputtering Cathodes, MF Sputtering Cathodes, Ion source unit.

2- Meerschaal en co-afzetting beschikbaar

3- Ionbron voor plasmaring voorbehandeling en ionstraal-geassisteerde afzetting om de filmslijm te verbeteren.

4- Verwarmingseenheid voor keramische/ Al2O3/AlN-substraten;

5. Rotatie- en omwentelingssysteem van het substraat, voor eenzijdige en tweezijdige coating.

Specificaties van de kopersputteringcoatingmachine

Prestaties

1. Ultieme vacuümdruk: beter dan 5,0 × 10^-6Torr.

2Werk vacuümdruk: 1,0 × 10^-4Torr.

3. Pomptijd: van 1 atm tot 1,0 × 10^-4Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)

4Metalliserend materiaal (sputtering + arc verdamping): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr enz.

5Operatiemodel: volledig automatisch/semi-automatisch/handmatig

Structuur

De vacuümcoatingsmachine bevat het volgende compleet systeem:

1Vacuümkamer.

2. Ruwe vacuümpompinstallatie (backpumppakket)

3. Hoog vacuümpompsysteem (magnetisch ophangende moleculaire pomp)

4Elektrisch besturingssysteem

5. Hulpfaciliteitssysteem (subsysteem)

6. Depositiesysteem

Monsters

Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u complete coating oplossingen te bieden.