|
| Merknaam: | ROYAL |
| Modelnummer: | RTSP |
| MOQ: | 1 set |
| Toeleveringsvermogen: | 10 sets per maand |
Tantaal PVD-sputteringcoatingsmachine, Tantaalfilms afgezet door DC-magnetronsputtering, PVD-tantaloplatering
Tantal wordt vooral gebruikt in de elektronische industrie en als beschermende coating in vele industrieën vanwege de goede weerstand tegen erosie.
Sputtered tantalum films worden veel gebruikt in de
1- de microelektronicaindustrie, aangezien de folies reactief kunnen worden gespuit en de weerstand en de temperatuurcoëfficiënt van weerstand kunnen worden gecontroleerd;
2Medische instrumenten zoals lichaamsimplantaten vanwege de hoge biocompatibiliteit;
3. coatings op corrosiebestendige onderdelen, zoals thermowell, kleppen en bevestigingsmiddelen;
Sputtered tantalum kan ook worden gebruikt als een effectieve corrosiebestendigheidsbarrière als de coating is continu, defect en hecht aan het substraat is bedoeld om te beschermen.
RTAS1000 Technische voordelen
1. Plug-in Geïntegreerd ontwerp systeem voor snelle installatie
2. Siemens PLC,CPU; met industriële pc-operatie en besturingshardware
3- Beschikbaar voor afstandscontrole en diagnose.
4Flexibel, klaar voor opwaardering
5Meerdere katoden voor snelle afzetting
Meer voordelen van de machine:
Robuust ontwerp, stabiele kwaliteit, snelle cyclus, snelle cyclustijd, hoge afzetsnelheid
| Hoofdconfiguratie | |
| Modellen | RTAS1000 |
| Technologie | DC-magnetronsputtering + kathodische boogplatering |
| Kamermateriaal | Roestvrij staal (S304) |
| Grootte van de kamer | Φ1000*1000 mm (H) |
| KAMERTYPE | D-vorm, cilindrische kamer |
| Rotatie rack & JIG SYSTEM | Satellietbesturing of centraal besturingssysteem |
| Vervaardiging van elektriciteit | DC Sputtering Power Supply: 2~4 sets Bias Power Supply: 1 set Arc Power Supply: 11 sets |
| Inhoud van de aanvraag | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu enz. |
| De in de bijlage vermelde gegevens zijn van toepassing op de in de bijlage opgenomen gegevens. |
Planar Sputtering Cathodes + cirkelvormige boogcathodes Opmerking: een cilindrische gelijkstroomsputter is beschikbaar |
| Controle | PLC ((Programmable Logic Controller) + Touch Screen (handmatig + automatisch + semi-automatisch bedieningsmodellen) |
| POMPSYSTEM | Roterende pomp: SV300B - 1 set (Leybold) |
| Roots Pump: WAU1001 - 1 set (Leybold) | |
| Houdpomp: D60C - 1 set (Leybold) | |
| Magnetische moleculaire suspensiepomp: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| GAS-MASSA FLOW CONTROLLER | 4 kanalen, Made in China, Seven Star (CS-serie, ) digitaal model (Ar, N2, O2, C2H2) |
| VACUUM GAUGE | Model: ZDF-X-LE, gemaakt in China |
| Veiligheidssysteem | Talrijke veiligheidssluitingen ter bescherming van bedieners en uitrusting |
| Verwarming | Verwarming: 20 kW. Max. temp.: 450°C |
| Verwarming | Industriële koelmachine (koud water) |
| Power Max. | 100 kW (ongeveer.) |
| Gemiddeld energieverbruik | 45 KW (ongeveer) |
| Bruto gewicht | T (ongeveer) |
| Voetafdruk | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Elektrische energie | AC 380V/3 fasen/50HZ / 5 lijn |
met een diameter van niet meer dan 50 mm met een vermogen van meer dan 10 W
Neem contact met ons op voor meer specificaties, Royal Technology is vereerd om u complete coating oplossingen te bieden.
Download de brochure, klik hier:Magnetron Sputtering Deposition System.pdf
Magnetron Sputtering Deposition System applicatio...
