PVD- en PECVD-hybride vacuümdepositiemachine-RT-Multi950

TDe integratie van PVD- en PECVD-technologieën in een hybride coatingsmachine biedt een reeks voordelen die kunnen leiden tot een betere coatingkwaliteit, veelzijdigheid, controle, efficiëntie, kostenbesparing,aanpassing, en duurzaamheid van het milieu.

De Multi950 is de mijlpaal van de geavanceerde coatingsystemen voor Royal Tech.zijn creatieve en onbaatzuchtige toewijding zijn onbeperkte waarden en inspireerde ons team.

In het jaar 2018 hadden we nog een project samenwerking met Pressor Chen, de C-60 materiaal afzetting door
We danken Mr Yimou Yang en professor Chen van harte voor hun leiding en instructies bij elk innovatief project.

Multi950-machine eigenschappen:

Compact Footprint,
Standaard modulair ontwerp
Flexibel,
betrouwbaar,
Octal Chamber,
2-deursconstructie voor een goede toegang,
PVD + PECVD processen.

Ontwerpkenmerken:

1Flexibiliteit: boog- en sputterkatodes, Ionbronmontageflensjes zijn gestandaardiseerd voor flexibele uitwisseling;
2Verscheidenheid: kan verschillende onedele metalen en legeringen deponeren; optische coatings, harde coatings, zachte coatingssamengestelde folies en vaste smeermiddelen op het substraat van metalen en niet-metalen materialen.
3Recht vooruit ontwerp: 2-deurs structuur, voor- en achteropening voor eenvoudig onderhoud.

De Multi950 machine is een op maat gemaakt vacuümdepositiesysteem met meerdere functies voor onderzoek en ontwikkeling.We hebben eindelijk het ontwerp en de configuratie bevestigd om hun R&D toepassingen te vervullen.Dit systeem is in staat om transparante DLC-film met PECVD-proces, harde coatings op gereedschappen en optische film met sputteringkatode te deponeren.We hebben daarna nog drie coatingsystemen ontwikkeld.:
1. Bipolaire platencoating voor brandstofcel elektrische voertuigen- FCEV1213,
2Keramisch rechtstreeks bekleed koper-DPC1215,
3Flexibel Sputtering Systeem- RTSP1215.
Deze 4 modellen machines zijn allemaal met Octal kamer, flexibele en betrouwbare prestaties worden veel gebruikt in verschillende toepassingen.Het voldoen aan de coating processen vereisen meerdere verschillende metalen lagen: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS en vele andere niet-feermagnetische metalen;
Het is een zeer efficiënte methode om de filmkoppeling op verschillende substraatmaterialen te verbeteren met behulp van de plasma-etserende prestaties en het PECVD-proces om een aantal koolstofhoudende lagen te deponeren.

Multi950 - Technische specificaties

Royal Tech's service- en engineeringteams bieden klantondersteuning ter plaatse, neem contact met ons op voor uw aanvragen!