TaN Ta2O5 Optische films Magnetron Sputtering Depositiesysteem, Ion Beam Assistent Depositiesysteem

Magnetron Sputtering wordt veel gebruikt om vuurvaste metalen zoals tantaal, titanium, wolfraam te deponeren,Niobium, waarvoor zeer hoge afzettingstemperaturen vereist zijn, en edelmetaal: goud en zilver en die ook wordt gebruikt voor de afzetting van metalen met een lager smeltpunt zoals koper, aluminium, nikkel, chroom enz.

Tantal wordt het meest gebruikt in de elektronische industrie.industrieals beschermende coating vanwege de goede weerstand tegen erosie.

Toepassingen van Sputtered Tantalum thin film:
1- de micro­elektronica­industrie, aangezien de folies reactief kunnen worden gespuit en aldus de weerstand en de temperatuurcoëfficiënt van de weerstand kunnen worden gecontroleerd;

2. Medische instrumenten zoals lichaamsimplantaten vanwege de hoge biocompatibiliteit;
3. coatings op corrosiebestendige onderdelen, zoals thermowell, klepkarrosseriën en bevestigingsmiddelen;
4. Sputtered tantaal kan ook worden gebruikt als een effectieve corrosiebestendigheidsbarrière als de coating is continu, defect en hecht aan het substraat is bedoeld om te beschermen.

5. halfgeleiderindustrie, micro-elektronische chips

Technische voordelen

1. Er wordt een gestandaardiseerde trolley aangebracht die het gemakkelijk en veilig mogelijk maakt om de substraathouders en werkstukken in/uit de afzettingskamer te laden/ontladen
2. Het systeem is veilig vergrendeld om onjuiste werking of onveilige praktijken te voorkomen.
3. De substraatverwarmers zijn voorzien van een in het midden van de kamer gemonteerd, PID-gestuurd thermocouple voor een hoge nauwkeurigheid, om de condensfilms hechting te verbeteren
4. Sterke vacuümpompconfiguraties met magnetisch ophangende moleculaire pomp via een hekklep verbonden met de kamer; ondersteund door de wortelpomp van Leybold's en de tweefasige rotatieve blaaspomp, mechanische pomp.
5. Met dit systeem wordt een energiebron van geïoniseerd plasma toegepast om de uniformiteit en dichtheid te garanderen.
   
   
   

Royal Technology's gestandaardiseerd tantale sputtering afzetting systeem: RTSP1000

Neem contact met ons op voor meer toepassingen en specificaties.