Ag zilversputtering afzetting machine-RTSP-Ag1215

Het PVD Direct Plating Silver op keramische dielectrische filters is een geavanceerde coatingtechnologie die wordt toegepast op 5G-basisstations en andere halfgeleiders voor de elektronische industrie.Een typische toepassing is keramisch stralend substraatZilver/koper geleidende film afzetting op aluminiumoxide (Al2O3), AlN-substraten door middel van PVD vacuümsputtering technologie,heeft vooral een groot voordeel ten opzichte van traditionele productiemethoden: DBC LTCC HTCC, die veel lagere productiekosten heeft. Royal Technology’s team collaborated with our customer to develop the PVD Silver Plating process successfully applying  with  sputtering technology which can replace conventional liquid silver brushing process.

Typische toepassingen

• HBLED
• Substraten voor zonne-concentratorcellen
• Verpakkingen voor halfgeleiders voor vermogen, met inbegrip van motorbesturing voor auto's
• Elektronica voor het energiebeheer van hybride en elektrische auto's
• Verpakkingen voor RF
• Mikrogolfapparaten
• met een vermogen van meer dan 10 W5G basisstation

Om er maar een paar te noemen, voor meer aanvragen, neem dan contact op met Royal Tech.

Technische voordelen

Grote capaciteit
Ontwerp van flexibele modules
Vervaardiging met precisie

Het RTAS1215 batch Sputtering systeem is de verbeterde versie, het nieuwste systeem heeft verschillende voordelen:

Een efficiënter proces
1. dubbelzijdige coating is verkrijgbaar door omzet armature ontwerp
2. tot 8 standaard platte kathodeflenzen voor meerdere bronnen
3Grote capaciteit tot 2,2 m2 keramische chips per cyclus
4Volledig geautomatiseerd, PLC+Touch Screen, ONE-Touch besturingssysteem

Lagere productiekosten
1. Uitgerust met 2 sets magnetische moleculaire suspensie pompen, snelle starttijd, gratis onderhoud
2. Maximaal verwarmingsvermogen
3. achthoekige vorm van de kamer voor een optimale ruimte met behulp van maximaal 8 boogbronnen en 4 sputtering katoden voor snelle afzetting van de coatings

Technische specificaties

Model: RTSP-Ag1215

Kamerhoogte (mm): 1500

Kamerdiameter (mm): φ1200

Sputtering kathode bevestigingsflens: 4

Montageflens van de ionenbron: 1

Arc Cathodes Montage Flange: 8

Satellieten (mm): 16 x Φ150

Pulsed Bias Power (KW): 36

Sputtervermogen (KW): DC36 + MF36

Arc Power ((KW): 8 x 5

Ionenbronvermogen (KW): 5

Verwarmingsvermogen (KW): 36

Effectieve laaghoogte (mm): 1020

Magnetische moleculaire suspensiepomp: 2 x 3300 L/S

Rootpomp: 1 x 1000m3/h

Roterende pomp: 1 x 300 m3/h

Behoudspomp: 1 x 60 m3/h

Capaciteit: 2,2 m2

Installatieoppervlakte (L x W x H) mm: 4200*6000*3500

Insite

Gebouwd: sinds 2016

Hoeveelheid: 3 stuks

Locatie: China

In vergelijking met de enorme vraag van de markt is de productiviteit van batchsystemen laag;Wij hebben ons gewijd aan de ontwikkeling van het In-line sputtering systeem (continuous sputtering deposition line) met automatisch robot laden/laden apparatenIedereen die geïnteresseerd is in dit systeem, neemt contact op met onze technici voor meer specificaties.