Magnetron het Sputteren Bronspecificaties
Zeer belangrijke Eigenschappen
1. Het eindige ontwerp van het elementenmagnetische veld
2. Magneet van koelwater wordt geïsoleerd dat
3. Compatibel systeem met de Bevoegdheden van DC/MF en rf-
4. Hoog doelgebruik
5. Regelbare het uitwerpen richting
6. Hoge machtsdichtheid en uitstekende uniformiteit
7. Evenwichtige en uit zijn evenwicht gebrachte wijzekeus
Maximum het Sputteren Macht | |
Indirect Gekoeld doel | > 20 watts/cm2 (gelijkstroom) |
> 7 watts/cm2 (rf) | |
Lossingsvoltage | 100 tot 1500 volts |
Lossingsstroom | > 0,05 ampèren/cm2 |
Werkende Druk | pa 0,05 tot 5 |
Doelgebruik | > 35% |
Doel | |
Vorm | Rechthoekige Vlak |
Dikte | 6mm~16mm |
Breedte | 125mm |
Installatie | Intern/extern |
Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen