Experimentele Magnetron Sputterende Eenheid, het Verticale Draagbare Kleine Sputterende Systeem van het Groottemagnetron

De experimentele Eenheid van de Magnetron Sputterende Deklaag/de Verticale Draagbare Kleine Machine van de Grootte Sputterende Deklaag

De koninklijke Technologie heeft divers van ultra-hoog-Vacuümdeklaagsystemen voor het universiteitsonderwijs en verstrekt ontworpen en het wetenschappelijke onderzoek en de ontwikkeling, om diverse verschillende filmgroei te bestuderen, produceren meer innovatieve NANO dunne films worden toegepast met onze commerciële industrieën.  Onze klanten houden van: De Universiteit van Shanghai van China, Machanster-Universiteit van het UK, Peking Wetenschappelijke Universitaire enz. 

De experimentele Theraml-Eenheden van de Verdampings Vacuümdeklaag:  Met de deklaag en het Elektron van de weerstands thermische verdamping - de verdampingstechnieken van het Straalkanon, om geleidende films, dunne film van halfgeleider, optische dunne film en aftastenelektronenmicroscoop (SEM) te produceren. Facultatieve Apparaten als: De ionen bron of van de zaal Ionenbron eenheden voor plasma het schoonmaken voorbehandeling, Plasma bijgestaan deposito kunnen hoogte produceren - kwaliteit van metaalfilms, samengestelde film, organische films enz. Stel volledig de R&D-toepassing tevreden. Zijn flexibel ontwerp en veelvoudige depositobronnen worden ingestemd met door de onderzoekers. 

Experimetalmagnetron die Vacuümdeklaageenheden sputteren: Gelijkstroom, MF, de sputterende kathoden van rf voor R&D-doel kan monolayer, diëlektrische film, samenstellingsfilm, halfgeleider, veelvoudige lagen, samengestelde film, en diëlektrische films enz. krijgen 

Experimetalmagnetron die de Technische Prestaties van Vacuümdeklaageenheden sputteren:

1 uiteindelijke Vacuümdruk: dan beter 5.0×10-6 Torr.

2. Werkende Vacuümdruk: 1.0×10-4 torr.

3. Pumpingdowntijd: van 1 ATM aan 1.0×10-4 Torr≤ 3 minuten (kamertemperatuur, droge, schone en lege kamer)

4. Metalizings materieel (sputterend) Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… enz.

5. Werkend Model: Volledig automatisch /Semi-Auto/ manueel

Experimetalmagnetron die de Structuur van Vacuümdeklaageenheden sputteren

1. Luchtledige kamer

2. Rouhgings Vacuüm Pompend Systeem (Steunend Pomppakket)

3. Hoog Vacuüm Pompend Systeem (Verspreidingspomp)

4. Elektrocontrole en Verrichtingssysteem

5. Het Systeem van de Auxiliarryfaciliteit (Subsysteem)

6. Depositosysteem

Tevreden om ons voor meer specificaties te contacteren, is de Koninklijke Technologie geëerd om u te verstrekken totale deklaagoplossingen.